还是一片空白，重头发展的难度很大！”
孙洪涛在沉默了几分钟之后，沙哑着声音说道。
“我们也曾经组织过技术论证，但是最后还是放弃了。”
“目前国内的技术储备，还是无法满足它的研发条件。”
光刻设备，被誉为工业皇冠上的明珠。
虽然在数十年后，这一顶工业皇冠和它上边的明珠，基本上都戴在国内的头上。
但是在这个时候，国内仅仅是在一些特定领域，能够抱有明珠，大多数的明珠还是把持在技术先发国家的手上。
“其实国内目前光刻设备，最被卡脖子的就是光源设备。”
张星扬想了想之后，还是给孙老说起了光刻设备比较困难的地方。
“您应该也知道，光刻机顾名思义是利用激光在硅晶片上进行激光作业，形成复杂集成电路。”
“在这个过程之中，首先要在晶圆表面附着一层光刻胶的保护膜，随后利用紫外线激光，去除掉晶圆表面的保护膜。”
“再用腐蚀剂，对失去保护膜的部位进行腐蚀之后，就能够在晶圆上形成集成电路。”
“这里边，想要保证集成电路的准确，确保芯片的成品率，最为关键的就是光源。”
张星扬说到这里的时候，稍微停顿了一下继续道：
“其实国内目前在紫外激光方面并不弱，只不过在光刻机光源应用上还存在一定的问题。”
“我们目前主要还是停留在对于深紫外光的研究之上，但是下一代光刻技术的关键肯定是在极紫外光上。”
“目前国际上，极紫外光的光源发展，也是很迅速。”
“据我所知，ASML的LPPEUV已经要完成开发了。”
“他们是通过四十千瓦的红外激光器激发Sn液滴产生的。
这项技术很难说是有多先进，只不过肯定是比较符合他们的利益的。”
ASML和国内毕竟不是一个情况，他们是商业公司，生产出来的光刻机自然也是作为商品存在的。
和国内作为生产工具存在的光刻设备，还是有那么一点点区别。
商品，就必须考虑到运输的问题。
这就导致ASML他们不得不在设备体型上，做出一定的限制。
而现在，张星扬要给国内带来一条在现在看来是一条歪路的办法。
“孙老，您也应该知道，我们的目的是什么？”
“我们是为了发展紫外激光，还是为了有我们国产的光刻设备？”
张星扬讲了一大堆之后，又将一个问题抛给了孙老。
孙洪涛这个时候也还没有反应过来，还没有跟上张星扬的思路：
“这两者，有什么区别吗？”
不过在说着说着，孙洪涛也反应了过来：
“难道说？”
“你有办法绕过紫外激光？”
张星扬轻轻叹了一口气：
“这个办法实际上是有点取巧的。”
“您也知道，我们发展激光